ソリッドSiC


ソリッドSiC

ソリッドSiCとは、当社が独自の製法で工業化に成功した、CVD法で製作した高純度SiCです。半導体装置部品に最も適した材料として期待されます。

特徴

  • 超高純度
  • 耐薬品性に優れる
  • 金属の拡散が圧倒的に少ない
  • 脱ガスフリーである
  • 理論密度である(β型SiC)

用途

  • ウェハーキャリア
  • サセプター
  • ダミーウェハー
  • ガイドリング
  • エッチャー部材、他
  • チューブ

代表特性値

密度 Density 3.21 g/cm3  
電気抵抗率 Electrical Resistivity 102 Ωcm  
曲げ強度 Flexural Strength 590 MPa (6000kgf/cm2
ヤング率 Young's Modulus 450 GPa (46000kgf/mm2
硬度:HV Vickers Hardness 26 GPa (2650kgf/mm2
熱伝導率 Thermal Conductivity(RT) 250 W/mK  
熱膨張係数 C.T.E(RT-1000℃) 4 ×10-6/K  

不純物測定例

  Al Ca Cr Cu Fe K Na Ni Ti V
ppb 20 16 9 13 31 58 3 6 3 < 1
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