SiCコートカーボン


SiCコートカーボン

当社では、CVD法SiCコートカーボンに加え、独自技術によるCVI法SiCコートカーボンの2グレートを取り揃え、様々なご要望にお答えしております。

特徴

  • 急速局部加熱に強い
  • 物理的衝撃に優れる
  • 耐薬性に優れる
  • 超高純度
  • 微細加工形状にも均一にコーティングが可能
  • 酸化雰囲気でも使用できる

用途

  • エピタキシャル用サセプター
  • CVD用サセプター
  • ヒーター
  • 単結晶引き上げ用部品、他

カーボン基材の代表特性値

品種 かさ比重
Specific gravity
( - )
電気抵抗率
Electrical
Resistivity
(μΩm)
曲げ強さ
Flexural
Strength
(MPa)
ショア
硬度
Shore
Hardness
(-)
灰分
Ash
(ppm)
熱伝導度
Thermal
Conductivity
(W/m・k)
カーボン基材 1.80 10.5 49 53 <20 120

※SiC膜の代表特性値及び不純物測定例は、ソリッドSiCのカタログをご参照ください。

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東海ファインカーボン株式会社 販売部

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