HOME > 製品情報 > ファインカーボン > 半導体・太陽電池用製品概要

半導体・太陽電池用製品概要


等方性黒鉛

CZ用等方性高純度黒鉛

シリコン単結晶の引上げ装置(CZ法)には、高純度の黒鉛が使用されます。大型で良質のシリコン単結晶の製造の為に当社は、CIP材(ラバープレス法)による大型等方性の超高純度黒鉛を製造し、高集積度半導体の生産に対応しております。

製品の特徴

高純度…有害元素がきわめて少なく、高集積化に対応できます。

高密度…高密度かつ微粒子構造によって、シリコンガスとの反応を小さくして、ロングライフが得られます。

全サイズに対応…シリコン単結晶の直径に合わせ、各種サイズの製品を提供できます。

マーケットイン…貴社のご仕様に合わせ設計いたします。

太陽電池用部品

再生可能・新エネルギーの代表格である太陽電池、その主流は結晶シリコン系太陽電池です。当社はシリコンバリューチェーン(SVC)の熱処理に関するトータルソリューションプロバイダーとして高純度シリコンの製造からインゴットの製造、ウエハーの表面処理まで太陽電池の根幹をなすセルの全製造工程にかかす事のできないカーボン製品を提供しております。

半導体用治具

トランジスター、水晶振動子などの電子部品の封着用治具として広く使用されています。これらの治具はきわめて高精度の加工技術を必要としますが、当社は豊富な経験と精密な加工技術により、高度の製品を製作しております。

光ファイバー用ホットゾーン

光通信の時代、その光ファイバー製造用ヒーター、ヒートシールドに高純度黒鉛が使用されております。

ウエハープロセッシング用部品

黒鉛は低原子番号材として、イオン、プラズマに対する抵抗力が強く、また高純度化により有害元素を発生しない特徴をもっており、過酷な条件下で使用できる材料として着目されています。

発光ダイオード(Ga-P,Ga〜As)用の液相エピタキシャル用ボード及び付属品。

イオンインプランター用部品、MOCVDサセプターなど。

押出成形黒鉛

このページの上部へ

モールド成形黒鉛

SiCコートカーボン

新しい機能を求めて

黒鉛の欠点と言われている気孔、粒子などの問題を克服して新しい機能を展開しました。コーティング材は黒鉛の長所と皮膜特性を兼ね備えた新機能材料です。

基材からコーティングまでの一貫生産体制

要求品質の100%達成を目指して、最良の特性を引き出すべく、基材の粒子、気孔、熱膨張特性と被膜特性をコントロールしたのが当社の製品です。

すぐれたマーケットイン

基材、コーティング、加工の一貫生産体制を基盤として、貴社のご仕様に合わせ設計いたします。

製品

CZ用部品、各種サセプター部品、SiCコーティングサービス

ソリッドSiC

ソリッドSiCとは、当社が独自の製法で工業化に成功した、CVD法で製作した超高純度SiCです。半導体装置部品に最も適した材料として期待されています。

このページの上部へ

グラッシーカーボン

グラッシーカーボンは、当社が独自の技術で世界で初めて開発した黒色ガラス状の不透過性炭素製品で、軽い、熱衝撃に強い、高熱に耐える、化学薬品に強い、機械的強度が大きいなど一般炭素製品にはない性質を持っております。

現在、半導体用途(エッチング用電極、洗浄用治具etc)、医療用治具、ガラス溶融用途で使用されております。

C/Cコンポジット TOKAREC

OPEX用に三菱重工業と当社が共同開発した「C/C複合材」。当社はこの開発技術をベースにした耐熱複合材「TOKAREC」を商品名として太陽電池をはじめとする半導体関連部品や耐熱用途向に広く提供しております。

この製品に関するお問い合わせ

電話でのお問い合わせはこちら(国内お取引関連)

東海ファインカーボン株式会社 販売部

0467-86-0805

お問い合わせフォームはこちら

お問い合わせ

このページの上部へ