グラッシーカーボン


グラッシーカーボン

グラッシーカーボンは、当社が独自の技術で世界で初めて開発いたしました、黒色ガラス状のガス不透過性炭素製品です。

特徴

  • 軽い
  • 耐薬品性に優れる
  • 気体不透過である
  • 高純度
  • パーティクルが少ない
  • 脱ガスフリーである

用途

  • 基板ホルダー
  • 遮熱板
  • サセプター
  • ガイドリング
  • エッチャー用電極
  • ルツボ、保護管、他

代表特性値

かさ密度 Apparent Density 1.51 g/cm3  
電気抵抗率 Electrical Resistivity 42 μΩm  
曲げ強度 Flexural Strength 147 MPa (1500kgf/cm2
ショアー硬度 Shore Hardness 120 (-)  
灰分 Ash < 2 ppm  
熱伝導率 Thermal Conductivity 5.8 W/mK (5.1kcal/mhr℃)

不純物測定例

  Al Ca Cr Cu Fe K Na Ni Ti V
ppm < 0.08 < 0.04 < 0.07 < 0.08 < 0.04 < 0.1 < 0.05 < 0.1 < 0.09 < 0.07
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東海ファインカーボン株式会社 販売部

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